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P-Si기판 위에 형성된 SiO2/SiN/SiO2박막의 특성에 관한 연구
  • 김현정
제목
P-Si기판 위에 형성된 SiO2/SiN/SiO2박막의 특성에 관한 연구
저자
김현정
발행일
2000-06-23
학회명
대한전자공학회 2000년도 하계종합학술발표대회
개최지
전남대/광주
학회 개최일
2000-06-23 ~ 2000-06-24

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