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metal mask를 이용한 Si nanocrystal 형성과 열처리에 따른 결정화 특성연구

김득영

제목: metal mask를 이용한 Si nanocrystal 형성과 열처리에 따른 결정화 특성연구

저자: 김득영

발행일: 2002-04-19

학회명: 2002년도 한국물리학회 봄 학술논문발표회

개최지: 부산 컨벤션센터

학회 개최일: 2002-04-19 ~ 2002-04-20