수소분위기 열처리를 통한 InZnSnO 산화물 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 매커니즘 연구

제목
수소분위기 열처리를 통한 InZnSnO 산화물 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 매커니즘 연구
저자
정권범
발행일
2022-02-16
학회명
한국진공학회
개최국가
대한민국