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Si(100)과 Si(111) 기판위에 RPCVD법으로 성장한 구리박막의 열처리효과

  • 신동혁
제목
Si(100)과 Si(111) 기판위에 RPCVD법으로 성장한 구리박막의 열처리효과
저자
신동혁
발행일
1996-04-26
학회명
96 한국물리학회 춘계학술발표회
개최지
수원
개최국가
대한민국
학회 개최일
1996-04-26 ~ 1996-04-27

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