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MCS-BE법을 이용한 SiH4 가스 프라즈마중의 전자에너지...

하성철

제목: MCS-BE법을 이용한 SiH4 가스 프라즈마중의 전자에너지...

저자: 하성철

발행일: 1997-04-25

학회명: '97 춘계학술대회

개최지: 동신대(나주)

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 1997-04-25 ~ 1997-04-26