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GaN계 질화합물 반도체의 습식식각에 관한 연구

이진구

제목: GaN계 질화합물 반도체의 습식식각에 관한 연구

저자: 이진구

발행일: 1998-06-27

학회명: 1998년도 하계종합학술대회

개최지: 마산

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 1998-06-27