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희생층이 도입된 탐침 기반 리소그래피
tip based lithography with a sacrificial layer
- 장재원;
- 조정식
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탐침기반리소그래피 기법에 희생층을 도입 활용하여 금 나노구명을 제작하는 방법 및 이를 활용한 응용을 보고함.
- 제목
- 희생층이 도입된 탐침 기반 리소그래피
- 제목 (타언어)
- tip based lithography with a sacrificial layer
- 저자
- 장재원; 조정식
- 발행일
- 2025-11-19
- 출원번호
- 10-2024-0015047
- 등록번호
- 10-2889959
- 출원일
- 2024-01-31
- 등록일
- 2025-11-19