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Si(100)과 Si(111) 기판위에 RPCVD법으로 성장한 구리 박막의 열처리 효과

  • 강태원
제목
Si(100)과 Si(111) 기판위에 RPCVD법으로 성장한 구리 박막의 열처리 효과
저자
강태원
발행일
1996-04-26
학회명
한국물리학회 제72회 논문발표회
개최지
수원
개최국가
대한민국
학회 개최일
1996-04-26 ~ 1996-04-27

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