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초록
본 발명은 베어칩 (bare-chip)의 온-웨이퍼 (on-wafer) 측정 장치와 관련된 발명이다.
- 제목
- 골드 범프를 이용한 밀리미터파 대역의 MMIC 칩의 온-웨이퍼 (on-wafer) 측정 장치 개발
- 제목 (타언어)
- On-wafer measurement instrument for millimeter-wave MMIC with gold bump
- 저자
- 이상진; 이진구
- 발행일
- 2012-08-01
- 출원번호
- 10-2010-0135978
- 등록번호
- 10-1171959-00-00
- 출원일
- 2010-12-27
- 등록일
- 2012-08-01