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RF sputtering법에 의한 AIN 박막 형성 및 특성연구

  • 김득영
제목
RF sputtering법에 의한 AIN 박막 형성 및 특성연구
저자
김득영
발행일
1999-10-15
학회명
한국물리학회 1999년도 가을 학술논문발표회
개최지
부산 부경대
학회 개최일
1999-10-15 ~ 1999-10-16

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