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SF-Ar 혼합기체의 전리계수에 관한 연구

하성철

제목: SF-Ar 혼합기체의 전리계수에 관한 연구

저자: 하성철

발행일: 2003-05-30

학회명: 한국전기전자재료학회 춘계학술대회

개최지: 한국전기연구원, 창원

학회 개최일: 2003-05-30 ~ 2003-05-31