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고온 스퍼터링법으로 제작된 티타늄 실리사이드의 구조적 전기적 특성 연구

  • 정웅
제목
고온 스퍼터링법으로 제작된 티타늄 실리사이드의 구조적 전기적 특성 연구
저자
정웅
발행일
2000-06-23
학회명
대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회
개최지
전남대/광주
학회 개최일
2000-06-23 ~ 2000-06-24

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