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[US]결함 분석 장치 및 이를 이용한 결함 분석 방법
DEFECT ANALYSIS DEVICE AND DEFECT ANALYSIS METHOD USING THE SAME
- 정권범;
- 문연건;
- 임준형;
- 정광식;
- 홍현민
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SCOPUS
0- 제목
- [US]결함 분석 장치 및 이를 이용한 결함 분석 방법
- 제목 (타언어)
- DEFECT ANALYSIS DEVICE AND DEFECT ANALYSIS METHOD USING THE SAME
- 저자
- 정권범; 문연건; 임준형; 정광식; 홍현민
- 발행일
- 2025-10-21
- 출원번호
- 18/227,976
- 등록번호
- US12,449,380
- 출원일
- 2023-07-31
- 등록일
- 2025-10-21