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전기용량형 압력 센서의 유전체 재료 및 형상에 따른 센서 민감도 연구

제목
전기용량형 압력 센서의 유전체 재료 및 형상에 따른 센서 민감도 연구
저자
한민우
발행일
2022-10-20
학회명
한국정밀공학회 2022년도 추계학술대회
학회 개최일
2022-10-19 ~ 2022-10-21

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