NH3 분위기 후열처리에 따른 SiC 기판 위에 성장된 HfO2 박막의 계면 변화 연구

제목
NH3 분위기 후열처리에 따른 SiC 기판 위에 성장된 HfO2 박막의 계면 변화 연구
저자
정권범
발행일
2016-02-17
학회명
한국진공학회
개최국가
대한민국