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초록
나노 크기 에노드 전극연결을 위한 디스크 구조에 관한 발명이다. 이 발명은 에노드의 크기를 줄여 접합캐패시턴스 낮추고 이특성은 Cut-off주파수를 향상시킬 수 있는 방법이다.
- 제목
- MMIC 공정에 적용 가능한 나노 사이즈 Anode 전극연결을 위한 디스크 구조
- 제목 (타언어)
- Disk structure for nano size anode contact in MMIC process
- 저자
- 이진구; 한민; 최석규
- 발행일
- 2012-09-14
- 출원번호
- 10-2010-0098355
- 등록번호
- 10-1184743
- 출원일
- 2010-10-08
- 등록일
- 2012-09-14