광 감지 성능을 극대화한 다기능 인장센서 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 희생층을 이용한 공정방법으로 압력, 전단력, 변형률, 비틀림 등을 감지 할 수 있는 변형 감지체, 상기 감지체의 저항변화를 확인할 수 있는 전극층, 인장시에 신축성이 부족한 전극층 및 광 감지체를 보호할 수 있는 버퍼층을 폴리머층에 전사시킴으로써 공정과정에서 발생하는 상기 폴리머층의 변형문제를 방지할 수 있으며 신축성 기판으로 사용되는 폴리머층 상에서 광 감지체를 형성함으로써 상기 광 감지체를 화학적 식각으로부터 보호할 폴리머 보호층이 필요하지 않고 이에 따라 상기 광 감지체의 매립구조를 피하고 상면을 노출시킴으로써 외부환경과의 반응을 원활하게 하여 감지도 및 감지속도 등 감지특성이 크게 향상된 다기능 인장센서 및 이의 제조방법을 제공한다.