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반도체 소자 제조방법, 이를 이용한 반도체 소자 모니터링방법 및 이에 의하여 제조된 반도체 소자
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김현정 | - |
| dc.contributor.author | 김순구 | - |
| dc.contributor.author | 민승기 | - |
| dc.contributor.author | 장용문 | - |
| dc.date.accessioned | 2025-09-09T07:34:39Z | - |
| dc.date.available | 2025-09-09T07:34:39Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.dongguk.edu/handle/sw.dongguk/59977 | - |
| dc.title | 반도체 소자 제조방법, 이를 이용한 반도체 소자 모니터링방법 및 이에 의하여 제조된 반도체 소자 | - |
| dc.title.alternative | - | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.contributor.assignee | 동국대학교산학협력단;최상식 | - |
| dc.date.application | 2008-07-14 | - |
| dc.date.registration | 2011-06-09 | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1041916 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2008-0068288 | - |
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Collections - ETC > 4. Patents
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