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RF 마그네트론 스퍼터법에 의한 Zn1-xMnxO 박막의 형성과 특성에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김득영 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-10-30T01:46:44Z | - |
| dc.date.available | 2024-10-30T01:46:44Z | - |
| dc.date.issued | 2004-02-19 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.dongguk.edu/handle/sw.dongguk/34094 | - |
| dc.title | RF 마그네트론 스퍼터법에 의한 Zn1-xMnxO 박막의 형성과 특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국반도체학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 대한민국 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 무주리조트, 무주 | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2004-02-19 ~ 2004-02-20 | - |
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