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볼츠만 방정식에 의한 CF4분자가스의 전리 및 부착계수에 관한연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 하성철 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-10-30T01:37:04Z | - |
| dc.date.available | 2024-10-30T01:37:04Z | - |
| dc.date.issued | 2004-11-11 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.dongguk.edu/handle/sw.dongguk/32399 | - |
| dc.title | 볼츠만 방정식에 의한 CF4분자가스의 전리 및 부착계수에 관한연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2004년 한국전지전자재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 대한민국 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 고려대학교, 서울 | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2004-11-11 ~ 2004-11-13 | - |
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Collections - ETC > 2. Conference Papers
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